关于SK海力士半导体（中国）有限公司四期工程月产12英寸（线宽20nm级）180K片超大规模集成电路产品升级技术改造项目竣工环境保护验收意见的函

苏环验﹝2015﹞98号

SK海力士半导体（中国）有限公司：

　　你公司《SK海力士半导体（中国）有限公司四期工程月产12英寸（线宽20nm级）180K片超大规模集成电路产品升级技术改造项目竣工环境保护验收申请》及附送的《SK海力士半导体（中国）有限公司四期工程月产12英寸（线宽20nm级）180K片超大规模集成电路产品升级技术改造项目竣工环境保护验收监测报告》（环监字〔2014〕第007号、第007-2号）等相关材料收悉。我厅于2014年5月对该项目进行了竣工环境保护验收现场检查。经研究，提出验收意见如下：

　　一、项目建设的基本情况

　　该项目位于无锡市高新技术开发区出口加工区，主要建设内容为月产12英寸（线宽20nm级）180K片超大规模集成电路产品升级技术改造项目，2011年11月获我厅批复（苏环审〔2011〕231号）。2012年5月公司由原“海力士半导体（中国）有限公司”更名为“SK海力士半导体（中国）有限公司”。该项目于2012年6月开工建设，2013年3月建成，2013年7月投入试生产。项目实际生产装备数量与环评相比有变化，已出具情况说明。危险废物产生量调整已获批（苏环便管〔2015〕161号）。项目总投资20亿美元，其中环保投资2270.4万美元，占总投资的1.14%。该项目因超期试生产已被无锡市环境保护局实施处罚（锡环（新）罚决[2015]29号）。

　　二、环境保护措施和环境风险防范措施落实情况

　　（一）废水主要为酸性废水、含氟废水、有机废水、蒸汽冷凝水、冷却塔弃水、生活污水等。酸洗废水含硫酸、磷酸、盐酸等，经中和沉淀后接管至无锡德宝水务投资有限公司（以下简称“德宝水务”）处理。含氟废水包括SG/CMP废水、含铜废水，经石灰乳絮凝沉淀分离法处理后接管至德宝水务处理。有机废水包括高氮废水、低氮废水、碱性废水、显影废水、洗涤废水、其他有机废水等，各类有机废水分别经预处理后统一接管至无锡新城污水处理厂（以下简称“新城污水厂”）处理。蒸汽冷凝水经超滤处理后回用，冷却塔弃水经过滤后与生活污水一并接管至新城污水厂处理。

　　（二）废气主要为酸碱废气、含氟废气、特殊废气、有机废气等。酸碱废气经洗涤塔洗涤后通过排气筒排放。含氟废气先经过高温热氧化、洗涤，再经过洗涤塔洗涤后通过排气筒排放。特殊废气含有硅烷、磷烷、硼烷、砷烷等，先经过焚烧净化装置处理，再经过洗涤塔洗涤后通过排气筒排放。有机废气主要含有异丙醇、非甲烷总烃等，先经过沸石转轮循环浓缩装置浓缩，再经过燃烧处理后通过排气筒排放。该项目利用原有排气筒，不新增排气筒。

　　（三）本项目未增加高噪声设备，新增生产线设备已采取隔声、消声、减振等降噪措施。

　　（四）项目产生的各类废酸液、废有机溶剂、废硫酸铵、废润滑油委托无锡中天固废处置有限公司处置。含汞废物委托宜兴苏南固废处置有限公司处置。含铜废液委托江阴中鑫资源再生有限公司处置。合成树脂、空化学品容器、废活性碳、含砷废物、电容委托无锡市工业废物安全处置有限公司处置。废铅酸蓄电池委托如皋市天鹏冶金有限公司处理。废水处理的氟化钙污泥目前暂存在厂区内，与常熟市张桥腾飞钙化物有限公司签订处置协议，同时启动氟化钙污泥属性鉴定程序。生活垃圾由环卫部门定期清运。厂区内建有危废暂存场所，符合“三防”措施要求。

　　（五）公司制定了内部环境管理制度，设置了环境管理机构，并委托第三方有资质单位实施日常监测。项目化学品库和污水处理站界外设置的卫生防护距离内无环境敏感目标。公司编制了突发事件环境应急预案并已在我厅备案。已建成容积为2000立方米的事故应急池。项目再生水回用量符合环评批复要求。废水接管口已进行了规范化设置，安装了自动监控设备并已联网。

　　三、验收监测结论

　　江苏省环境监测中心提供的《SK海力士半导体（中国）有限公司四期工程月产12英寸（线宽20nm级）180K片超大规模集成电路产品升级技术改造项目竣工环境保护验收监测报告》（环监字〔2014〕第007号、第007-2号）表明，验收监测期间：

　　（一）废水：含氟废水、含酸废水排入德宝水务的接管口S1、S2的pH值范围和化学需氧量、悬浮物、氟化物、总磷、氨氮浓度均满足接管标准要求。有机废水收集池的总砷浓度未检出，符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表1标准。公司接入新城污水厂的排口S5的pH值范围和氟化物、化学需氧量、悬浮物、五日生化需氧量浓度均符合接管标准要求，生活污水接入新城污水厂的排口S6的pH值范围和化学需氧量、悬浮物、五日生化需氧量浓度均符合接管标准要求。S5、S6测点的动植物油浓度均符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表1标准，氨氮、总磷浓度均符合《污水排入城镇下水道水质标准》（CJ343-2010）表1中B等级标准。

　　（二）废气：有机废气处理装置出口的非甲烷总烃排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求。含氟废气处理装置出口的氟化物排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求。酸碱废气处理装置出口的氯化氢、硫酸雾、氮氧化物排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求，臭气浓度、氨排放速率均满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准限值要求。验收监测期间，厂界下风向无组织排放监控点氮氧化物、氟化氢、氯气、非甲烷总烃、氯化氢浓度均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值，氨、臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1二级新扩改建标准要求。

　　（三）噪声：厂界噪声监测点昼夜间噪声等效声级分别满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类、4类标准要求。

　　（四）污染物总量：项目各类污染物年排放总量均满足环评批复要求。

　　四、验收结论和后续要求

　　该项目在实施过程中基本落实了环境影响评价文件及其批复要求，配套建设了相应的环境保护设施，落实了相应的环境保护措施，经验收合格，同意项目正式投入运行。

　　项目正式投运后应做好以下工作：加强环保设施维护和管理，确保污染物稳定达标排放。加强对生产设备及管线的日常检查，杜绝跑冒滴漏现象。加强危险废物的贮存和转移管理，建立健全台账资料。强化环境风险防控措施，提高应对突发环境污染事件的能力。

　　无锡市环保局负责项目运行期的日常环境监管。

　　江苏省环境保护厅

　　2015年7月3日