关于苏州晶方半导体科技股份有限公司先进晶圆级芯片尺寸封装（WLCSP）项目竣工环境保护验收意见的函

苏环验﹝2015﹞117号

苏州晶方半导体科技股份有限公司：

　　你公司《先进晶圆级芯片尺寸封装（WLCSP）项目竣工环境保护验收申请》及附送的《苏州晶方半导体科技股份有限公司先进晶圆级芯片尺寸封装（WLCSP）建设项目竣工环境保护验收监测报告》（环监字〔2014〕第036号）等材料收悉。我厅对该项目进行了竣工环境保护验收现场检查。经研究，提出验收意见如下：

　　一、项目建设的基本情况

　　项目包括一厂区和二厂区两个生产厂区，其中一厂区位于苏州工业园区苏春工业坊11B/C，建设内容为12万片/年晶圆级芯片尺寸封装项目技术改造，二厂位于苏州工业园区汀兰巷29号，建设内容为36万片/年晶圆级芯片尺寸封装。项目于2010年11月由苏州科技学院完成环境影响报告书编制，2010年12月获我厅批复（苏环审〔2010〕282号），2011年1月开工建设，一厂于2012年9月完成技术改造，二厂于2013年6月建成。一厂技改12万片/年晶圆级芯片尺寸封装项目和二厂一期新增18万片/年晶圆级芯片尺寸封装项目于2012年9月同时投入试生产；二厂二期18万片/年晶圆级芯片尺寸封装项目于2013年7月投入试生产。2015年6月我厅文对该项目环评修编报告予以批复（苏环便管〔2015〕205号）。苏州工业园区环保局对该项目超期试生产的环境违法行为进行了行政处罚（苏园环行罚字〔2015〕第027号）。

　　二、环境保护措施及环境风险防范措施落实情况

　　（一）废水主要包括生产废水、纯水制备废水、间接冷却水排水和生活污水。生产废水为各工序的清洗废水、废气洗涤塔废水等，分别经一厂和二厂的污水处理设施预处理后接入园区第一污水处理厂。生活污水和其它废水直接接管。一厂废水处理设施依托原有，设计能力为40立方/小时，主要处理工艺为pH调节、混凝、絮凝、沉淀、pH回调。二厂新建设2套60立方/小时污水处理设施，处理工艺与一厂废水处理一致。废水接管口已安装污水流量计和化学需氧量在线监测仪并与当地环保局联网。

　　（二）废气主要有酸性废气、有机废气和锅炉废气。酸性废气主要来源于工艺过程中光刻显影、蚀刻、金属处理、废水处理等，主要污染物有硫酸雾、氟化氢等，收集后经碱液洗涤塔处理后排放。有机废气主要产生于光刻显影、沟槽填胶、溅镀、印锡工序，主要污染物有甲醛、丙酮、非甲烷总烃等，收集后经活性碳吸附处理后排放。一厂锅炉以天然气为燃料，烟气通过18米高的排气筒排放；一厂建有碱液洗涤塔2套（1用1备）、活性炭吸附装置2套（1用1备），尾气分别通过2根15米高的排气筒排放。二厂建有碱液洗涤塔2套（1用1备）、活性炭吸附装置2套（1用1备），尾气分别通过2根35米高的排气筒排放。另一厂和二厂还分别设置1根一般废气排气筒。

　　（三）噪声源主要为车间换气处理机组、各类泵、空压机、冰水主机、冷却塔、风机等，通过选用低噪声设备、建筑物隔声、安装消声器等降噪措施来降低对外环境的影响。

　　（四）一般固废中废靶材、废锡膏外售，不合格产品移交给客户，废导电胶带、晶圆残渣等由环卫部门处理。危险废物有废玻璃清洗剂（HW35）、废有机溶剂（HW42，主要为废异丙醇、废防护材料、废光刻胶、废油墨、废ADP浸泡液、废丙酮、废乙醇）、显影液废液（HW16）、表面处理废物（HW17，主要为废氢氧化钠、废硫酸、废氢氟酸、废甲酸、废化学镀铜原液）、废BGA清洗剂（HW41）、污泥（HW22）、废抹布、废活性炭、原料空桶（HW49）、废抛光树脂（HW13），均委托有资质单位处置。

　　项目制定了内部环境管理制度，设置了环境管理机构，并委托有资质第三方单位开展例行监测。本项目一厂区、二厂区厂界外100米卫生防护距离内无环境敏感目标。公司编制了突发事件环境应急预案并在苏州工业园区环保局备案，一厂区和二厂区分别已建成容积为120立方米和500立方米的事故应急池。

　　三、验收监测结论

　　江苏省环境监测中心提供的《苏州晶方半导体科技股份有限公司先进晶圆级芯片尺寸封装（WLCSP）建设项目竣工环境保护验收监测报告》（环监字〔2014〕第036号）表明，验收监测期间：

　　（一）废气监测结论

　　锅炉排气筒出口Q1的烟尘、二氧化硫、氮氧化物排放浓度和烟气黑度满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2001）表1、表2燃气锅炉标准要求。一厂酸性废气排气筒出口Q2和二厂酸性废气排气筒出口Q4的氟化物排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求，硫酸雾排放浓度满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5标准要求。一厂有机废气排气筒出口Q3和二厂有机废气排气筒出口Q5的甲醛、非甲烷总烃排放浓度、排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2二级标准要求，丙酮排放浓度和排放速率满足《工业企业设计卫生标准》第三章工作场所有害因素职业接触限值（GBZ2-2002）表1标准要求。一厂、二厂厂界无组织监控点非甲烷总烃浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2无组织排放监控浓度限值。

　　（二）废水监测结论

　　一厂、二厂废水预处理设施出口（S1、S4）中的pH值以及化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、阴离子表面活性剂、氟化物排放浓度日均值均满足污水处理厂接管标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准限值要求；总铜排放浓度日均值满足《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表3标准要求。

　　（三）噪声监测结论

　　一厂、二厂厂界噪声监测点昼夜间噪声监测值均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

　　（四）污染物排放总量核算

　　接入园区第一污水处理厂的工业废水量和化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总铜、氟化物和阴离子表面活性剂年排放总量（二厂、全厂接管考核量及全公司外排量）均达到接管总量控制指标要求。

　　二厂和全厂的硫酸雾、氟化物、非甲烷总烃、丙酮、甲醛及全厂的烟尘和二氧化硫年排放总量均达到批复的总量控制指标要求；氮氧化物和氟化物的排放总量符合环评修编批复核准的总量控制要求。

　　四、验收结论和后续要求

　　该项目在实施过程中基本落实了环境影响评价文件及其批复要求，配套建设了相应的环保设施，主要污染物达标排放。经验收合格，同意项目正式投入运行。

　　项目正式投运后应做好以下工作：进一步规范污染防治设施运行管理，建立健全日常环境管理台帐记录，确保污染物长期稳定达标排放。加强突发环境事件应急演练，确保环境安全。

　　苏州市、苏州工业园区环保局负责项目运营期的日常环境监管。

　　江苏省环境保护厅

　　2015年8月5日